镀膜设备的种类复杂，只按照大的工艺分常有的有比如蒸发、磁控溅射、离子等PVD镀膜技术，按没个镀膜加工企业要求不同又需要配置不同的设备和程序。我国的镀膜机械，经过了几十年的发展，形成了门类，布局合理，品种配套，技术水平与镀膜工业发展基本适应的体系，真空镀膜设备已经不能再叫新行业了，其是一个有创新能力的成熟行业，排气阀片被压得太紧也能造成真空泵卡死例如，有一台400L/min的滑阀泵，当排气阀被压得过紧跳不开时，便出现了卜死现象此时，只需拆开窗，经测量，根据零部件的损坏、磨损程度的不同，可对机械真空泵的腔体、转子、旋片、端盖板等零部件进行铲刮研磨和修配，相互修正调整。卧式真空机组是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。卧式真空机组泵是以气体为中间介质的容积泵，由于工作介质是可压缩气体，因而抽气速率与吸入端的真空度密切相关，真空度越大，抽气速率越低。利用阿特拉斯真空泵的先进性，促进其品质实力的提升，使其在的产品运用过程中，加大对产品实用性能的发挥，以的品质运用来体现出内在实用性能的发展，充分加强对产品运用优势作用的不断推进。排气阀背板要合理设计。常见排气阀的结构和材料有多种形式，如橡胶垫、布质酚醛层压板和弹簧钢片等。压缩腔的气体被压缩到排气压力则阀片打开开始排气，阀片在达到阀背板后回落。提高阀背板的高度可以提高排气阀的有效流通面积，减少排气阻力。过高的阀背板高度会使阀片敲击阀背板和阀座的噪声增大。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。各种真空泵的工作原理